干涉应变片由高度抛光表面上的两个非常浅的凹槽组成。这些沟槽用金刚石切割，深度分别为4×10-5英寸和5×10-3英寸。入射在这些凹槽上的来自He-Ne气体激光器的相干单色光将产生条纹图案。条纹平行于凹槽的条纹图案形成在撞击光束的每一侧上。这些图案在空间中的位置与两个凹槽之间的距离有关。随着这个距离的变化，边缘会发生变化。测量这些条纹位移使人们能够确定样本的局部应变。
测量理论，应变ε由下式给出：其中ΔF是两种图案的平均条纹偏移，λ是光的波长，do是凹槽之间的初始距离，αo是入射光束和条纹图案。介绍了用干涉应变片进行静态测量的过程。这些测量的灵敏度是每个条纹偏移0.5％的应变，最大应变为4％。
通过将其结果与其他公认的测量大塑性应变的方法进行比较来评估该方法。这些其他技术是：后屈服薄膜计量器，一个2英寸夹式测厚仪和Instron测试机。基于4％应变的全面测量，这些技术之间的平均百分比差异小于0.4％。
干涉应变片具有以下特点：与试样表面积分的量具，非常短的计量长度，相对容易的应用以及测量大应变的能力。
