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日本magnescale 索尼测量位移BL57传感器

产品简介:

特徴

次世代の要求に答える、信号波長400nmの高精度、高速応答直線スケール。クラス最高性能で幅広いアプリケーションに対応。

  • BL57-RE
    • クラス最高の高速応答と高精度で1,360mmまでの有効長を実現
    • 信号波長:400nm
    • 原点内蔵
    • <アプリケーション> 精密測定器・精密ステージなど
  • BL57-NE
    • 小型形状で精密機器への組み込みに有利
    • 原理的に温度、湿度、気圧の変化や空気の揺らぎに影響が少なく、低膨張ガラスの採用で更に安定な計測が可能
    • 信号波長:400nm
    • <アプリケーション> 高精度顕微鏡 形状計測装置など

产品详情
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スペック

BL57-RE 主な仕様
  • 注1)最大応答速度と出力ケーブル長(インターフェイスボックスから先)に相関があります。
  • 注2)電源ラインが10mを超える場合はEN61000-6-2に適合しません。サージ対策を講じてご使用下さい。
  • 注3)コネクタ入力部で仕様を満足すること。
  • 注4)特殊仕様にて、3mまで対応可能です。ただし、最大応答速度はケーブル長に応じて制限されます。(3mの場合は、1mの2/3の応答速度)
  • 注5)低膨張ガラスは有効長660mm、青板ガラスは有効長1070~1360mmは特殊仕様にて対応致します。
型名 BL57-RE
形式 F G H
出力方式 A/B相出力タイプ アナログ出力タイプ
検出方式 回折格子走査式
スケール長(低膨張ガラス) 有効長 : L 30、60、110、160、210、260、310、360、410
スケール全長 有効長+36mm
最大可動長 有効長+10mm(片側5mm)
スケール長(青板ガラス) 有効長 : L 60、160、260、360、460、560、660、760、860、960、1,060
スケール全長 有効長+36mm
最大可動長 有効長+10mm(片側5mm)
精度(20℃にて) ±0.5μm(30~170mm)/±1.0μm(220~370mm)/±1.5μm(420mm以上)
格子ピッチ 1.6μm
信号波長 400nm
出力信号 差動(EIA-422準拠) 差動(原点出力仕様のみEIA-422準拠)
出力分解能 0.1/0.05μm(切替え可能) 0.02/0.01μm(切替え可能) 0.4μm(1Vp-p)
繰返し精度 使用分解能の1カウント以下
戻り誤差 使用分解能の2カウント以下
原点精度(20℃にて) ±0.4μm(機械の走り精度に依存)
原点位置 任意の1点(有効長範囲内)
原点検出方向 片方向
温度膨張係数 低膨張ガラス:-0.7×10-6/℃・青板ガラス:8×10-6/℃
光源 半導体レーザ 波長790nm 最大出力6mW
放射パワー JISクラス1 DHHSクラス1
使用温度範囲 0℃~40℃(結露不可)
保存温度範囲 -10℃~50℃
最大応答速度 1,500mm/s(0.1μm), 650mm/s(0.05μm) 300mm/s(0.02μm), 120mm/s(0.01μm) 3,000mm/s
最小位相差:38ns 最小位相差:38ns Max 7.5MHz
アラーム 応答速度オーバー&信号レベル異常時:出力信号がハイインピーダンス、アラーム出力 なし
ヘッドケーブル ケーブル長 1m(注4)
曲げ半径 静止状態:10mm
出力ケーブル長 15m Max(注2)(後接の電子制御部分まで) 15m Max(注1)(注2)
電源(注3) +5V(±5%)
消費電流 450mA(無負荷) 600mA(120Ω終端時)
耐振動 100m/s2(50~2,000Hz)
耐衝撃 200m/s2
BL57-NE 主な仕様
  • 注1)最大応答速度と出力ケーブル長(インターフェイスボックスから先)に相関があります。
  • 注2)電源ラインが10mを超える場合はEN61000-6-2に適合しません。サージ対策を講じてご使用下さい。
  • 注3)コネクタ入力部で仕様を満足すること。
形式 A F G H
出力方式 A/B相出力タイプ アナログ出力タイプ
検出方式 回折格子走査式
スケール長(低膨張ガラス) 有効長 : L 30、70、120、170、220、270、320、370、420
スケール全長 有効長+26mm
最大可動長 有効長+10mm(片側5mm)
スケール長(青板ガラス) 有効長 : L 60、160、260、360、460、560、660、760、860、960、1,060
スケール全長 有効長+36mm
最大可動長 有効長+10mm(片側5mm)
精度(20℃にて) ±0.5μm(30~170mm)/±1.0μm(220~370mm)/±1.5μm(420mm以上)
格子ピッチ 1.6μm
信号波長 400nm
出力信号 差動(EIA-422準拠) 差動(原点出力仕様のみEIA-422準拠)
出力分解能 0.1μm 0.1/0.05μm(切替え可能) 0.02/0.01μm(切替え可能) 0.4μm(1Vp-p)
繰返し精度 使用分解能の1カウント以下
戻り誤差 使用分解能の2カウント以下
原点精度(20℃にて) ±0.4μm(機械の走り精度に依存)
原点位置 任意の1点(有効長範囲内)
原点検出方向 片方向
温度膨張係数 低膨張ガラス:-0.7×10-6/℃・青板ガラス:8×10-6/℃
光源 半導体レーザ 波長790nm 最大出力6mW
放射パワー JISクラス1 DHHSクラス1
使用温度範囲 0℃~40℃(結露不可)
保存温度範囲 -10℃~50℃
最大応答速度 1,000mm/s 1,500mm/s(0.1μm), 650mm/s(0.05μm) 300mm/s(0.02μm), 120mm/s(0.01μm) 3,000mm/s
最小位相差:80ns 最小位相差:38ns 最小位相差:38ns Max 7.5MHz
アラーム 信号レベル異常時A/B相ハイインピーダンス 応答速度オーバー&信号レベル異常時:出力信号がハイインピーダンス、アラーム出力 なし
ヘッドケーブル ケーブル長 300mm
曲げ半径 静止状態:10mm
出力ケーブル長 15m Max(注2)(後接の電子制御部分まで) 15m Max(注1)(注2)
電源(注3) +5V(+10%-5%) +5V(±5%)
消費電流 200mA(無負荷), 250mA(120Ω終端時) 290mA(無負荷), 350mA(120Ω終端時) 250mA(無負荷、120Ω終端時)
耐振動 100m/s2(50~2,000Hz)
耐衝撃 200m/s2
BL57 ケーブル

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

本製品は改善の為予告なく変更する場合がありますので、最新の仕様書にて機能・性能をご確認ください。ご了承ください。

ケーブル長(m) 最大応答速度(mm/s)
3 3,000
9 2,330
15 1,660