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质量式流量计EL

产品简介：

サーマルマスフローメータ EL シリーズ

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仕　様

内　　容　（注：型式による）

　流量範囲

　上：メータ

　下：制御

型　式	流量範囲
F-110C 　F-200CV	0.014～0.7 mL/min ～　0.06～9mL/min
F-111B 　F-201CV	0.16～0.8 mL/min ～　0.16～25mL/min
F-111AC 　F-201AV	0.04～20 L/min ～　0.6～100 L/min
F-112AC 　F-202AV	0.8～40 L/min ～　1.4～250 L/min
F-113AC 　F-203AV	4～200 L/min ～　8～1670 L/min

測定レンジ

　1:50

　圧力範囲

　メータ(10 MPa), コントローラ(6.4MPa)

　温度範囲

　-10～+70 ℃

　用途

　気体流量監視／制御

　その他