| ■ 概略规格 | ||
| 手臂数量 | 上面2,下面2 | |
| 可安装探针 | 1172系列,CP1072系列,CP1073系列 | |
| 测试步数 | 999,999步 | |
| 测试项目·测试范围 | 直流定电流导通测试 | 400.0μΩ〜400.0 kΩ |
| 直流定电流电阻测试 | 40.00μΩ〜400.0 kΩ | |
| 直流定电压电阻测试 | 4.000 Ω〜40.00 MΩ | |
| 绝缘电阻测试 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
| 交流定电压电容测试 | 100.0 fF 〜10.00μF | |
| 漏电流测试 | 1.000 μA 〜10.00 mA | |
| 高压电阻测试 | 1.000 kΩ 〜100.0 GΩ | |
| 电容器绝缘测试 | 1.000 kΩ 〜10.00 MΩ | |
| 开路测试 | 4.000 Ω 〜4.000 MΩ | |
| 短路测试 | 400.0 mΩ 〜40.00 kΩ | |
| LSI 消耗电流检查 | 100.0 nA 〜100.0 mA | |
| 交流定电压电阻测试 | 10.00 Ω 〜10.00 kΩ | |
| 交流定电压电容测试 | 10.00 pF 〜100.0 μF | |
| 交流定电压电感测试 | 1.000 μH 〜1.000 mH | |
| 判定范围 | -99.9% 〜+999.9%, 或者是绝对值 | |
| 最小移动分辨率 | XY：0.1 μm / pulse , Z： 1 μm / pulse | |
| 测点最小间距 | 上面：32um（使用CP1075-09时） | |
| 下面：44um（使用CP1075-09时） | ||
