| ■ 概略规格 | ||
| 手臂数量 | 2 (上面2) | |
| 可安装探针 | CP1073系列 | |
| 测试项目·测试范围 | 电阻测试 | 400.0 μΩ〜40.00 MΩ |
| 4.000 Ω〜4.000 MΩ (T) | ||
| 电容测试 | 100.0 fF〜10.00 μF | |
| MLCC测试 | 100.0 nF〜100.0 μF | |
| 绝缘测试 | 1.000 kΩ〜100.0 GΩ | |
| 1.000 kΩ〜250.0 MΩ (T) | ||
| 电容器绝缘测试 | 1.000 kΩ〜10.00 MΩ | |
| 高压电阻测试 | 1.000 kΩ～100.0 GΩ | |
| 1.000 kΩ～250.0 MΩ (T) | ||
| 漏电流测试 | 1.000 μA〜10.00 mA | |
| 导通检查 | 400 mΩ〜1.000 kΩ | |
| 开路测试 | 4.000 Ω〜4.000 MΩ | |
| 短路测试 | 400.0 mΩ〜40.00 kΩ | |
| (T) 通过测试治具进行测量时 | ||
| 判定范围 | -99.9%〜+999.9%, 或者是绝对值 | |
| 综合定位精度 | 10 μm | |
| 测点最小间距 | 40 μm（使用CP1073-01探针时） | |
| 可固定的基板厚度 | 以BGA面的选件为准 | |
| 飞针可测区域 | 75 mm × 75 mm | |
| 使用电源 | AC 200 V ±10％ (三相) 50/60 Hz, ※订货时指定AC 200 V, 220 V | |
| 最大消耗功率：5 kVA | ||
| 体积・重量 | 1300W × 1670H × 1700D mm (凸起物除外), 2000 kg | |
| 测试治具 CP1165-11规格 | ||
| 基板外形 | □10 mm〜□80 mm | |
| 可固定的基板厚度 | 0.1〜5.0 mm | |
| 注意事項 | 依据每种基板设计 | |
| 基板固定 | 另外需要支架、闸门、真空泵 | |
| 焊盘直径 | 200 μm以上, 4端子时300 μm以上 | |
| 最大点数 | 8192 | |
| 静电电容测试用吸真空台面E4101概要 | ||
| 基板尺寸 | 50W × 90D～105W × 250D mm | |
| 可固定的基板厚度 | 0.1〜0.8 mm | |
| 注意事項 | 为了对应整个板厚范围，需要更换调整板厚的垫片 | |
| 基板固定 | 另外需要真空泵E4106 | |
