| ■ 规格概要 | ||
| 手臂数 | 2（正面*2） | |
| 可安装探针 | 1172系列，CP1072系列 | |
| 测试步数 | 999999步 | |
| 测量参数和测量范围 | 电阻测量 | 40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ |
| 绝缘电阻测量 | 1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ | |
| 电容测量 | 100.0 fF ~ 10.00 μF | |
| 漏电流测量 | 1.000 μA ~ 10.00 mA | |
| 高压电阻测量 | 1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ | |
| 电容绝缘电阻 | 1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ | |
| 开路测量 | 4.000 Ω ~ 4.000 MΩ | |
| 短路测量 | 400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ | |
| 判定范围 | −99.9% ~ ＋999.9%, 或绝对值 | |
| 综合定位精度 | □20μm (注: 根据检查条件有所限制) | |
| 测点最小间距 | 50μm (使用探针CP1072-01时, L-R手臂间距) | |
| 测量时间 | Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移动，2手臂同时探测 电容测试) | |
| 可测试基板尺寸 | 50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm | |
| 最大可测区域 | 610mm(W)× 510mm(H) | |
| 基板固定 | 水平放置，真空吸附 | |
| 电源 | AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订购时指定) 50/60 Hz, 最大功耗：3 kVA | |
| 体积及重量 | 1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg | |
